FORNEL - Arbeitsfeld

I Nanostrukturen



Technologien, Materialien, Prozesse und Verfahren zur Abscheidung von dünnsten Schichten sowie zur lateralen Strukturierung auf Nanoebene.

Projekte:

  • Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika
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  • Atomar-selbstregelnde Abscheidung von Siliziumnitridschichten
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  • Nanoimprint-Lithographie
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  • Photonenaktivierte Reinigungs- und Abscheideprozesse
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