PD Dr. Thomas Seyller
Telefon: 09131-8528335
Telefax: 09131-8527889
Adresse:
Universität Erlangen-Nürnberg
Lehrstuhl für Technische Physik
Erwin-Rommel-Str. 1
91056 Erlangen
Verbünde:
- FORNEL (Forschungsgruppenleiter)
Projekte:
- Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika
(Verbund: FORNEL) - Atomar-selbstregelnde Abscheidung von Siliziumnitridschichten
(Verbund: FORNEL)
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