Prof. Dr. Heiner Ryssel
Telefon: 09131-761100
Telefax: 09131-761102
Adresse:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Arbeitsgebiet: CMOS-Technologie, Halbleiterfertigungsgeräte, Ionenimplantation, elektronische Bauelemente,
Verbünde:
- FORMIKROSYS (Forschungsgruppenleiter)
- FORNEL (Forschungsgruppenleiter, Sprecher)
Projekte:
- Nanoimprint-Lithographie
(Verbund: FORNEL)
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