Dr. Lothar Frey

Email:

Telefon: 09131-761320

Telefax: 09131-761212

Adresse:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)

Schottkystraße 10
91058 Erlangen

Verbünde:

Projekte:

  • Chemische Dampfphasenabscheidung von Schichten hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
    (Verbund: FOROB2)



zurück
Seite drucken top