FORNEL - Projekte

• I Nanostrukturen
  • Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika
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  • Atomar-selbstregelnde Abscheidung von Siliziumnitridschichten
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  • Nanoimprint-Lithographie
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  • Photonenaktivierte Reinigungs- und Abscheideprozesse
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• II Nanobauelemente und –schaltungen
  • Analogschaltungen mit Tunneltransistoren
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  • Nanotransistoren auf der Basis ballistischer Y-Schalter
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  • Quantenmechanische und ballistische Nanobauelemente auf Siliziumbasis
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• III Querschnittsthema Modellierung und Simulation
  • Physikalische Modellierung und numerische Simulation von Nanostrukturen
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