FORPHOTON - Arbeitsfeld

B: Fertigung photonischer Sensorsysteme



Hier stehen neue Fertigungskonzepte und Strategien für die Herstellung integrierter Sensorelemente im Fokus. Neben der Untersuchung und Auslegung der eigentlichen Sensorfunktion werden Methoden entwickelt, optische Wellenleiter in Substraten z.B. mittels Laserstrahlung herzustellen und diese mit Fluidkanälen als hybride Systeme zur Fluiddiagnose zu integrieren. Die Charakterisierung der erzeugten Wellenleiter und Sensoren bezüglich ihrer optischen Qualität erfordert neue Herangehensweisen in der Messtechnik.

Projekte:

  • B1: Fertigung mikrooptischer Strukturen zur gezielten Lichtlenkung für Sensoranwendungen
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  • B2: Laser-gefertigte mikro-opto-fluidische BioMEMS
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  • B3: Entwicklung von faseroptischen LowCost-Sensoren zur Strukturüberwachung
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  • B4: Entwicklung und Fertigung optomechatronischer hybrider Mikrosysteme
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