
Dr. Lothar Frey
Telefon: 09131-761320
Telefax: 09131-761212
Adresse:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Verbünde:
Projekte:
- Chemical vapour deposition of thin films with high relative permittivity instanced by barium-strontium-titanate
(Verbund: FOROB2)
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