FORMIKROSYS

FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK

TP 3 Entwicklung eines Meßverfahrens mit hohem Dynamikbereich für die Qualitätsüberprüfung von optischen Asphären und für die in-situ Messung von Wellenfronten

Arbeitsfeld:

Das Teilprojekt Entwicklung eines Meßverfahrens mit hohem Dynamikbereich für die Qualitätsüberprüfung vonoptischen Asphären und für die in-situ Messung von Wellenfronten (Kurzbezeichnung: Wellensensor), dessenProjektleitung bei Prof. Schwider, Lehrstuhl für Optik, Universität Erlangen-Nürnberg liegt, soll die Leistungsgrenzeneines Meßgeräts zur Vermessung von optischen Asphären und allgemeinen Wellenfronten auf der Basis einesShack-Hartmann-Sensors erforschen und, soweit möglich, erweitern. Insbesondere sollen die Leistungsgrenzenhinsichtlich Dynamikbereich, Genauigkeit und Geschwindigkeit untersucht werden. Der Sensor selbst besteht dabeiaus einem Mikrolinsen-Array, einer CCD-Kamera mit Bildspeicher und einem Auswerterechner und stellt damit eineinteressante Anwendung der Mikrosystemtechnik zur Vermessung makroskopischer Objekte dar.