FORMIKROSYS
FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK
Dr.-Ing. Martin Richter
Kontakt
| E-Mail: | richter@imsm.fhg.de |
| Telefon: | +49-89-54759-455 |
Fraunhofer-Institut
für mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Hansastr. 27 d
80686 Muünchen
Arbeitsgebiet: Entwicklung Mikromechanik, Aktorik und Fluidik