FORNEL

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR NANOELEKTRONIK

FORNEL

Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel

Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel

Kontakt

E-Mail: dsl@ei.tum.de
Telefon: +49- 89 289-22922
Fax: +49- 89 289-22938

TU München
Lehrstuhl für Technische Elektronik
Theresienstr. 90
80290 München

Arbeitsgebiet:
Produktionstechnologien für die Silizium-Mikroelektronik, Ausfallmechanismen und Zuverlässigkeit von integrierten Schaltungen, Halbleitersensoren in Siliziumtechnologie, Sensorauswerteschaltungen, Mixed-Signal-Schaltungen, Metallisierungssysteme für Sub-0,5µm-CMOS-ICs, Focused Ion Beam - Technik

Projekte

Informationen

Gründungsdatum

07.2004

Ende

12.2007

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung