FORMIKROSYS

FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK

FORMIKROSYS

I Nanostrukturen

Technologien, Materialien, Prozesse und Verfahren zur Abscheidung von dünnsten Schichten sowie zur lateralen Strukturierung auf Nanoebene.

Projekte

  • Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika
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  • Atomar-selbstregelnde Abscheidung von Siliziumnitridschichten
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  • Nanoimprint-Lithographie
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  • Photonenaktivierte Reinigungs- und Abscheideprozesse
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Informationen

Gründungsdatum

05.1994

Ende

12.2000

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung