FORNEL

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR NANOELEKTRONIK

FORNEL

I Nanostrukturen

Technologien, Materialien, Prozesse und Verfahren zur Abscheidung von dünnsten Schichten sowie zur lateralen Strukturierung auf Nanoebene.

Projekte

  • Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika
    mehr
  • Atomar-selbstregelnde Abscheidung von Siliziumnitridschichten
    mehr
  • Nanoimprint-Lithographie
    mehr
  • Photonenaktivierte Reinigungs- und Abscheideprozesse
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Informationen

Gründungsdatum

07.2004

Ende

12.2007

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung