FORMIKROSYS

FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK

FORMIKROSYS

Prof. Dr. Heiner Ryssel

Prof. Dr. Heiner Ryssel

Kontakt

E-Mail: heiner.ryssel@iisb.fraunhofer.de
Telefon:09131-761100
Fax:09131-761102

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)

Schottkystraße 10
91058 Erlangen

Arbeitsgebiet: CMOS-Technologie, Halbleiterfertigungsgeräte, Ionenimplantation, elektronische Bauelemente,

Forschungsverbünde

Projekte

Informationen

Gründungsdatum

05.1994

Ende

12.2000

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung