FORNEL
BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR NANOELEKTRONIK
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Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel
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Kontakt
E-Mail: | dsl@ei.tum.de |
Telefon: | +49- 89 289-22922 |
Fax: | +49- 89 289-22938 |
TU München
Lehrstuhl für Technische Elektronik
Theresienstr. 90
80290 München
Arbeitsgebiet:
Produktionstechnologien für die Silizium-Mikroelektronik, Ausfallmechanismen und Zuverlässigkeit von integrierten Schaltungen, Halbleitersensoren in Siliziumtechnologie, Sensorauswerteschaltungen, Mixed-Signal-Schaltungen, Metallisierungssysteme für Sub-0,5µm-CMOS-ICs, Focused Ion Beam - Technik
Projekte
- II Nanobauelemente und –schaltungen