FORMIKROSYS

FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK

FORMIKROSYS

Dr.-Ing. Martin Richter

Kontakt

E-Mail: richter@imsm.fhg.de
Telefon:+49-89-54759-455

Fraunhofer-Institut
für mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Hansastr. 27 d
80686 Muünchen

Arbeitsgebiet: Entwicklung Mikromechanik, Aktorik und Fluidik

Forschungsverbünde

Informationen

Gründungsdatum

05.1994

Ende

12.2000

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung