FORMIKROSYS

RESEARCH ASSOCIATION MICROSYSTEM TECHNOLOGY

FORMIKROSYS

Dr.-Ing. Martin Richter

Contact

E-Mail: richter@imsm.fhg.de
Phone:+49-89-54759-455

Fraunhofer-Institut
für mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Hansastr. 27 d
80686 Muünchen

Arbeitsgebiet: Entwicklung Mikromechanik, Aktorik und Fluidik

Research Associations

Information

Launching date

05.1994

End

12.2000

Funded by

Bavarian Research Foundation