FORMIKROSYS

FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK

FORMIKROSYS

Single-Frame-Echtzeit Interferometrie zum Messen von Zustandsänderungen von technischen Objekten

Arbeitsfeld:

Mikrosystemtechnik

Der in diesem Teilprojekt zu entwickelnde neuartige Sensor dient zur Untersuchung von schnell bewegten Vorgängen. Beispiele sind die Prüfung von Oberflächen oder die Analyse von mechanischen Schwingungen. Das zukunftsweisende Design mit Laserlicht, Glasfasern, holographischen Elementen und einer hochauflösenden Kamera ermöglicht die hochgenaue Messung in Echtzeit. Gleichzeitig ist dadurch ein miniaturisierter, kompakter und robuster Aufbau möglich. Das Bild zeigt den interferometrischen Meßkopf des Systems.

Single-Frame-Echtzeit Interferometrie

Informationen

Gründungsdatum

05.1994

Ende

12.2000

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung