FORMIKROSYS

RESEARCH ASSOCIATION MICROSYSTEM TECHNOLOGY

FORMIKROSYS

Dipl.-Ing. Hermann Seitz

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TU München
Lehrstuhl für Feingerätebau und Mikrotechnik
Boltzmannstr. 15
85747 Garching

Research Associations

Information

Launching date

05.1994

End

12.2000

Funded by

Bavarian Research Foundation