Allgemeine Anschrift der Bayerischen Forschungsallianz

Bavarian Research Alliance GmbH
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FOROB

BAVARIAN JOINT RESEARCH PROGRAM FOR SURFACE TECHNOLOGY

Dr. E. P. Burte

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Fraunhofer-Institut
für integrierte Schaltungen - Bereich Bauelementetechnologie
Schottky-Straße 10
91058 Erlangen

Projects

IV Informationsschichten
- IV.4 Chemische Dampfphasenabscheidung von dünnen ferroelektrischen Blei-Lanthan-Zirkonat-Titanat-Schichten bei Niederdruck

Information

Launching date

12.1994

End

11.1998