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Thomas Hegewald
Thomas Hegewald Universität Erlangen Lehrstuhl für Sensorik Paul-Gordan-Strasse 3-5 91ß52 Erlangen
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Dr. Randolf Hanke
Dr. Randolf Hanke Fraunhofer Gesellschaft Projektgruppe Ultrafeinfokus-Röntgentechnologie Dr.-Mack-Straße 81 90762 Fürth
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Stefan Grünwald
Stefan Grünwald TU München Lehrstuhl für Feingerätebau und Mikrotechnik Boltzmannstr. 15 85747 Garching
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Manfred Dirscherl
Manfred Dirscherl Bayerisches Laserzentrum gGmbH Schallershoferstraße 108 91056 Erlangen
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Stephan Roth
Stephan Roth Bayerisches Laserzentrum gGmbH Konrad-Zuse-Strasse 2 - 6 91052 Erlangen
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Prof. Dr.-Ing. Joachim Heinzl
Prof. Dr.-Ing. Joachim Heinzl TU München Lehrstuhl für Feingerätebau und Mikrotechnik Boltzmannstr. 15 85747 Garching
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Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing. E.h. mult Dr. h.c. mult Manfred Geiger
Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing. E.h. mult Dr. h.c. mult Manfred Geiger Bayerisches Laserzentrum GmbH Konrad-Zuse-Straße 2-6 91052 Erlangen
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A1 Piezo-Stepperantrieb
A1 Piezo-Stepperantrieb Entwickelt wird ein neuartiger Hochlast-Stellantrieb auf Basis piezoelektrischer Aktoren. Um große Stellwege zu erreichen, wird ein Schrittschaltwerk ähnlich dem…
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A2 Berührungslose Handhabung von Bauteilen aus der Mikrosystemtechnik
A2 Berührungslose Handhabung von Bauteilen aus der Mikrosystemtechnik Im Rahmen des Projekts sollen Prinzipien zur berührungslosen Handhabung empfindlicher Bauteile aus der Mikrosystemtechnik…
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A3 Schnelle Laserstrahljustiertechnik
A3 Schnelle Laserstrahljustiertechnik Bei der Fertigung hybrider Mikrosysteme kann alternativ zur präzisen Fertigung der Einzelteile und der anschließenden ebenso präzisen Montage zunächst relativ…
