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FORNANO
FORSCHUNGSVERBUND FüR MINIATURISIERTE ANALYSEVERFAHREN DURCH NANOTECHNOLOGIE
PD Lukas Worschech
PD Lukas Worschech Universität Würzburg Technische Physik Am Hubland 97074 Würzburg
Prof. Dr. Gerhard Wachutka
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Prof. Dr. Lothar Ley Universität Erlangen-Nürnberg Lehrstuhl für Technische Physik Erwin-Rommel-Str. 1 91056 Erlangen
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Prof. Dr. Walter Hansch TU München Lehrstuhl für Technische Elektronik Theresienstr. 90 80290 München Arbeitsgebiet: Halbleiterproduktionstechnik
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Dr. Lothar Frey Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) Schottkystraße 10 91058 Erlangen
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Prof. Dr. Alfred Forchel Universität Würzburg Technische Physik Am Hubland 97074 Würzburg
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Dr. Bernd Fischer Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) Schottkystraße 10 91058 Erlangen
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Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika Die fortschreitende Reduzierung kritischer Dimensionen in den aktiven und passiven Elementen integrierter, Si-basierter Schaltungen…